سي وي ڊي سلڪون ڪاربائيڊ (سي آءِ سي) ڪوٽنگ

CVD SiC ڪوٽنگ بنيادي طور تي گريفائٽ تي جمع ٿيل هڪ سلڪون ڪاربائيڊ پرت آهي، ۽ اهو وڏي پيماني تي ايپيٽيڪسي ٽولز ۾ استعمال ٿيندو آهي جتي گرمي پد ۽ صفائي ٻئي اهم هوندا آهن. حقيقي پيداوار جي لائنن ۾، توهان اڪثر ان کي AIXTRON، ASM/LPE، Veeco، ۽ ڪجهه AMAT سان لاڳاپيل پليٽ فارمن جي سسٽم ۾ ڏسندا. جيڪو ان کي ڪارآمد بڻائي ٿو اهو صرف گرمي پد جي مزاحمت ناهي، پر ڊگهي ڊوڙ دوران مجموعي استحڪام آهي. عام ايپيٽيڪسي حالتن ۾ - هائيڊروجن، امونيا، يا اڃا به ڪلورين ٿيل گيس - ڪوٽنگ نسبتا مستحڪم رهي ٿي ۽ هيٺان گريفائٽ کي بچائي ٿي. اهو حرارتي ميدان کي وڌيڪ مستقل رکڻ ۾ مدد ڪري ٿو ۽ واڌ دوران ذرات جي ظاهر ٿيڻ جو موقعو گهٽائي ٿو.

گهڻو ڪري، ڪوٽنگ حصن تي لاڳو ڪئي ويندي آهي جهڙوڪ سسپيٽر، ويفر ڪيريئر، گريفائيٽ رِنگز، يا اڌ چنڊ جا حصا. اهي سڀ سڌو سنئون ويفر جي گرمائش يا پوزيشننگ ۾ شامل آهن، تنهنڪري ڪا به ننڍڙي عدم استحڪام پيداوار کي متاثر ڪري سگهي ٿي. انهي سبب لاءِ، ڪوٽ ٿيل حصن کي اڪثر استعمال ٿيندڙ شين جي طور تي سمجهيو ويندو آهي جيڪي اڃا تائين ڪيترن ئي چڪرن تي قابل اعتماد هجڻ گهرجن، خاص طور تي 4 کان 12 انچ جي پيداوار ۾.