شين

ايڪسٽران جي 5 ڇت جو جزو

سيميڪس ليب جو ايڪسٽران جي 5 ڇت وارو ڪمپونينٽ هڪ درست انجنيئر ٿيل اپر چيمبر ڪمپونينٽ آهي جيڪو ايڪسٽران جي 5 MOCVD سسٽم جي ورجائي سگهڻ واري آپريشن لاءِ تيار ڪيو ويو آهي. اهو ايندڙ پروسيس گيسن کي ڪنڊيشن ڪرڻ ۽ GaN، AlGaN، ۽ InGaN ايپيٽيڪسيل واڌ لاءِ اپ اسٽريم وهڪري ۽ رد عمل جي ماحول کي بيان ڪرڻ ۾ اهم ڪردار ادا ڪري ٿو. گئس انليٽ ۽ ميڪنگ واري علائقي تي رکيل، ڇت وارو ڪمپونينٽ اڳوڻن جي اعليٰ درجه حرارت جي واڌ واري علائقي ۾ داخل ٿيڻ کان اڳ گئس جي ورڇ کي مستحڪم ڪرڻ ۾ مدد ڪري ٿو. هڪ مسلسل ۽ پيش گوئي واري وهڪري جي ميدان کي برقرار رکڻ سان، اهو يونيفارم ايپيٽيڪسيل ٿلهي، ساخت ڪنٽرول، ۽ بيچ کان بيچ ريپيٽيبلٽي کي سپورٽ ڪري ٿو. اسان توهان جي پڇا ڳاڇا جو استقبال ڪريون ٿا.

انڪوائري

وضاحت

Aixtron G5 سيلنگ ڪمپونينٽ Aixtron G5 MOCVD سسٽم لاءِ هڪ اهم اپر چيمبر اسيمبلي آهي، جيڪو سسٽم جي استحڪام ۽ ورجائيندڙ آپريشن کي يقيني بڻائڻ لاءِ ٺاهيو ويو آهي. اعليٰ معيار جي مرڪب سيمي ڪنڊڪٽر ايپيٽيڪسيل واڌ لاءِ، گئس جي وهڪري جو صحيح ڪنٽرول، رد عمل جي هڪجهڙائي، ۽ چيمبر جي صفائي تمام ضروري آهي. ايپيٽيڪسيل عمل جي نقطي نظر کان، هي جزو ايپيٽيڪسيل عمل جي اپ اسٽريم بائونڊري حالتن کي بيان ڪرڻ ۾ بنيادي ڪردار ادا ڪري ٿو، سڌو سنئون ڊگهي مدت جي عمل جي استحڪام ۽ ويفر کان ويفر تسلسل تي اثر انداز ٿئي ٿو.

ايڪسٽران جي 5 ڇت جو ڪم ڪندڙ ڊاگرام

ايڪسٽرون G5 ري ايڪٽر اندر، اپر چيمبر ڪمپونينٽ گيس انليٽ ۽ ميڪنگ زون تي واقع آهي، جيڪو ڌاتو نامياتي اڳڪٿين، ڪيريئر گيس، ۽ اعليٰ درجه حرارت جي رد عمل واري ماحول جي وچ ۾ پهرين فنڪشنل انٽرفيس طور ڪم ڪري ٿو. ان جو بنيادي ڪم گيسن کي فعال واڌ واري علائقي ۾ داخل ٿيڻ کان اڳ حالت ۾ رکڻ ۽ مستحڪم ڪرڻ آهي. هڪجهڙائي ۽ پيش گوئي لائق وهڪري جي ميدان کي برقرار رکڻ سان، ڇت جو ڪمپونينٽ مقامي ڪنسنٽريشن گريڊينٽ ۽ ٽربولنس کي گھٽ ڪرڻ ۾ مدد ڪري ٿو - اهي عنصر جيڪي ٿلهي جي غير یکسانيت، ساخت جي اتار چڙهاؤ، ۽ GaN، AlGaN، ۽ InGaN ايپيٽيڪسيل پرتن ۾ دٻاءُ جي تبديلين جو سبب بڻجن ٿا. يقيناً، هي اپ اسٽريم فلو ڪنٽرول اعليٰ حجم ويفر پيداوار ۾ مسلسل، هڪجهڙائي ايپيٽيڪسيل ڪارڪردگي حاصل ڪرڻ لاءِ اهم آهي.

وهڪري جي انتظام کان ٻاهر، Aixtron G5 ڇت وارو ڪمپونينٽ پڻ مٿين چيمبر واري علائقي ۾ پيراسائيٽڪ جمع ۽ ذرات جي پيداوار جي خلاف هڪ اهم رڪاوٽ طور ڪم ڪري ٿو. MOCVD پروسيسنگ دوران، اعلي درجه حرارت هائيڊروجن ماحول ۽ ڌاتو نامياتي اڳڪٿين جو ميلاپ ناپسنديده رد عمل ۽ بي نقاب سطحن تي مواد جي تعمير کي فروغ ڏئي ٿو. سيميڪس ليب جو ڇت وارو ڪمپونينٽ حل انتهائي ماحول کي برداشت ڪرڻ، اڳڪٿي جذب کي گهٽائڻ، فليڪ ٺهڻ کي دٻائڻ، ۽ واڌ جي علائقي ۾ ذرات جي ڇڏڻ کي محدود ڪرڻ لاءِ اعليٰ پاڪائي واري SiC ڪوٽنگ مواد ۽ سطح جي انجنيئرنگ کي استعمال ڪري ٿو. هي ويفر سطحن تي خراب کثافت کي گهٽائڻ ۾ مدد ڪري ٿو ۽ ري ايڪٽر جي سار سنڀال جي وقفن کي وڌائي ٿو.

وڌيڪ نازڪ طور تي، ڇت جي حصن کي بار بار حرارتي سائيڪلنگ ۽ وڌايل پيداوار جي ڊوڙ ذريعي جاميٽري ۽ مٿاڇري جي استحڪام کي برقرار رکڻ گهرجي. هن علائقي ۾ ڪا به خرابي، مٿاڇري جي خرابي، يا ڪوٽنگ جي عدم استحڪام گئس جي ورڇ ۽ رد عمل جي حرڪت کي بتدريج تبديل ڪري ٿي، جنهن جي ڪري عمل جي وهڪري ٿئي ٿي. هن وهڪري کي ڳولڻ ڏکيو آهي پر وڏي پيماني تي پيداوار دوران اهم قيمت نقصان پهچائي ٿو. سيميڪس ليب جا ايڪسٽرون G5 ڇت جا حصا احتياط سان ٺهيل آهن ته جيئن طول و عرض جي سالميت ۽ مٿاڇري جي تسلسل کي وڌايل زندگي دوران برقرار رکيو وڃي، هر رن ۽ مختلف پيداوار جي بيچ ۾ نازڪ عمل جي حالتن جي ورجائي کي يقيني بڻائي سگهجي.

سيميڪس ليب جو ايڪسٽران جي 5 سيلنگ ڪمپونينٽ اعليٰ حرارتي مزاحمت، ڪيميائي استحڪام، ۽ آلودگي ڪنٽرول صلاحيتن کي ضم ڪري ٿو. هي غير منصوبابندي ڪيل ڊائون ٽائيم کي خاص طور تي گھٽائي ٿو، پيداوار جي استحڪام کي وڌائي ٿو، ۽ اثرائتي طور تي پيداوار جي قيمتن کي گھٽائي ٿو. ترقي يافته MOCVD ايپيٽيڪسيل پيداوار ۾ قابل اعتماد ڊگهي مدت جي ڪارڪردگي ۽ سخت عمل ڪنٽرول جي ڳولا ڪندڙ ٺاهيندڙن لاءِ، اسان جو ايڪسٽران جي 5 اپر چيمبر ڪمپونينٽ هڪ احتياط سان انجنيئر ٿيل حل جي نمائندگي ڪري ٿو. ساڳئي وقت، سيميڪس ليب سيميڪنڊڪٽر ايپيٽيڪسي شعبي لاءِ جديد ٽيڪنيڪل هدايت ۽ ڪسٽمائيز حل فراهم ڪرڻ لاءِ پرعزم آهي. اسان خلوص دل سان چين ۾ توهان جي ڊگهي مدت جي ڀائيوار بڻجڻ جي منتظر آهيون.