SiC ڪوٽيڊ هاف مون گريفائيٽ حصا

SiC ڪوٽيڊ هاف مون گريفائيٽ حصا اهم جزا آهن جيڪي وڏي پيماني تي ترقي يافته سلڪون ايپيٽيڪسي ۽ سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) ايپيٽيڪسي سسٽم ۾ استعمال ٿيندا آهن. ايپيٽيڪسيل ري ايڪٽرز اندر، اهي جزا ساختياتي، گئس جي وهڪري جي شڪل ڏيڻ، ۽ حفاظتي عنصرن طور ڪم ڪن ٿا، سڌو سنئون فلم جي هڪجهڙائي، ڪنڊ جي خاصيتن، ۽ ڊگهي مدت جي عمل جي استحڪام تي اثر انداز ٿين ٿا. انهن جو صحيح حرارتي ڪنٽرول، ڪيميائي استحڪام، ۽ الٽرا گهٽ آلودگي ڊوائيس جي ڪارڪردگي ۽ پيداوار جي پيداوار لاءِ ضروري آهي، انهن کي سيمي ڪنڊڪٽر ايپيٽيڪسيل عملن ۾ ناگزير اهم گريفائيٽ اجزاء بڻائي ٿو.

سلڪون ۽ سلڪون ڪاربائيڊ ايپيٽيڪسي عملن ٻنهي ۾، هلال جي شڪل وارا گريفائيٽ جزا عام طور تي سبسٽريٽ يا ويفر ايج علائقن جي ويجهو رکيا ويندا آهن، جتي گئس جي وهڪري جي متحرڪ ۽ درجه حرارت جي گريڊينٽ تمام گهڻا حساس هوندا آهن. هلال جي جاميٽري خاص طور تي مقامي گئس جي ورڇ ۽ حرارتي توازن کي بهتر بڻائڻ لاءِ ٺاهي وئي آهي، انهي ڪري ڪنارن جي اثرات کي گهٽائي ٿو جيڪي ايپيٽيڪسيل پرت جي ٿولهه ۾ تبديلين، ڊوپنگ ڪنسنٽريشن جي اتار چڙهاؤ، يا ڪرسٽل خرابين جو سبب بڻجي سگهن ٿا.

مادي ساخت جي نقطي نظر کان، گريفائيٽ سبسٽريٽ بهترين حرارتي چالکائي ۽ مشيني صلاحيت پيش ڪري ٿو، مخصوص ري ايڪٽر ڊيزائن سان ملائڻ لاءِ پيچيده هلال جي شڪلن جي صحيح ٺاھڻ کي قابل بڻائي ٿو. corrosive epitaxial ماحول سان مطابقت کي يقيني بڻائڻ لاءِ، گريفائيٽ جي مٿاڇري کي اعلي-پاڪيءَ واري سلڪون ڪاربائڊ (SiC) جي هڪ ٿلهي پرت سان ڍڪيل آهي. هي SiC ڪوٽنگ ڪيميائي طور تي غير فعال رڪاوٽ جي طور تي ڪم ڪري ٿي، هائيڊروجن، HCl، ۽ سلڪون تي ٻڌل اڳوڻن گيسن جي خلاف شاندار سنکنرن مزاحمت جو مظاهرو ڪري ٿي جيڪي عام طور تي epitaxial عملن ۾ استعمال ٿينديون آهن. نتيجي طور، جزو ڊگهي عرصي تائين اعلي-درجه حرارت جي آپريشن دوران ساخت جي سالميت ۽ سطح جي استحڪام کي برقرار رکي ٿو (عام طور تي SiC epitaxy ۾ 1500 ° C کان وڌيڪ).

آلودگي ڪنٽرول جي نقطي نظر کان، SiC ڪوٽيڊ هاف مون گريفائيٽ حصا صاف عمل جي ماحول کي برقرار رکڻ ۾ اهم ڪردار ادا ڪن ٿا. SiC ڪوٽنگ مؤثر طريقي سان گريفائيٽ ذرڙن جي پيداوار کي دٻائي ٿي ۽ ڌاتو جي نجاست جي ڇڏڻ يا جذب کي روڪي ٿي، فيبز کي سخت ذرڙن ۽ پاڪائي جي گهرجن کي پورو ڪرڻ ۾ مدد ڪري ٿي. اهو خاص طور تي SiC ايپيٽيڪسي ۾ اهم آهي، جتي ٽريس آلودگي به ايپيٽيڪسيل ڪرسٽل جي معيار کي خراب ڪري ٿي.

غير ڪوٽيڊ گريفائيٽ يا متبادل مواد جي مقابلي ۾، SiC-ڪوٽيڊ اڌ چنڊ گريفائيٽ حصا استحڪام، حرارتي ڪارڪردگي، ۽ قيمت جي اثرائتي جي وچ ۾ هڪ بهترين توازن حاصل ڪن ٿا. انهن جي وڌايل سروس لائف سار سنڀال جي تعدد ۽ چيمبر جي ڊائون ٽائيم کي گھٽائي ٿي، جڏهن ته مستحڪم مٿاڇري جون خاصيتون مسلسل بيچ-ٽو-بيچ ڪارڪردگي ۾ حصو وٺن ٿيون. اهي فائدا انهن کي اعلي-وولم Si/SiC ايپيٽيڪسيل پيداوار لائينن ۾ ناگزير استعمال ٿيندڙ اجزاء بڻائين ٿا.

هڪ معروف چيني ٺاهيندڙ ۽ سيمي ڪنڊڪٽر ايپيٽيڪسيل پروسيس حصن جي سپلائر جي حيثيت سان، سيميڪس ليب مسلسل صنعت جي گراهڪن کي جديد ٽيڪنيڪل صلاحڪاري ۽ ڪسٽمائيز پراڊڪٽ حل فراهم ڪري ٿو. اسان سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهيندڙن کي بااختيار بڻايون ٿا ته جيئن اهي وڌيڪ پيداوار، بهتر عمل جي ورجائي جي صلاحيت، ۽ ايپيٽيڪسيل واڌ دوران وڌايل سامان جي اعتبار حاصل ڪري سگهن. اسان خلوص دل سان چين ۾ توهان جي ڊگهي مدت جي ڀائيوار بڻجڻ جي منتظر آهيون.