ڇو گئس فلوٽنگ ڊسڪ تيز گرمي پد جي ايپيٽيڪسي ۾ غير برابر ٿي ويندا آهن

تيز گرمي پد جي ايپيٽيڪسي عملن ۾ استعمال ٿيندڙ فلوٽنگ گيس ڊسڪ ويفرز کي استحڪام فراهم ڪن ٿا ۽ انهن کي گئس جي هڪجهڙائي وهڪري سان سهارو ڏين ٿا. پيداوار جي ماحول ۾، آپريٽر شايد اهو مشاهدو ڪن ٿا ته وقت سان گڏ اهي ڊسڪ پنهنجو متوازيت وڃائي ڇڏيندا آهن. جيتوڻيڪ گئس جي وهڪري جي هڪجهڙائي ۽ ويفرز جي استحڪام لاءِ ٿوري تبديلي گهٽ ٿي سگهي ٿي، هڪ جھڪيل ڊسڪ ڊسڪ جي مٿاڇري تي ٿوري لباس يا جمع ٿيڻ کان شروع ٿي سگهي ٿي، ۽ وقت سان گڏ خراب ٿي سگهي ٿي. پراڊڪٽ جي ڊائون ٽائيم ۽ ناڪامي کان بچڻ لاءِ اهو سمجهڻ جي ضرورت آهي. سالن کان، فيب ۾ روزاني معمول تي، گرمي پد ۽ وهڪري جي حالتن ۾ معمولي تبديلي اڄ ڊسڪ کي ترتيب کان ٻاهر ڪڍي سگهي ٿي.

AMAT Centura5200 گيس فلوٽنگ ڊسڪ ۾ حرارتي خرابي جا طريقا

AMAT Centura5200 سسٽم ۾ گئس فلوٽنگ ڊسڪ گرمي جي ڪري جزوي طور تي پنهنجي همواري وڃائڻ جو خطرو آهي. تيز گرمي پد دوران ايپيٽيڪسي واڌ ، ڊسڪ کي ري ايڪٽر چيمبر ذريعي غير هڪجهڙائي سان گرم ڪيو ويندو آهي. اهو مٿي کان تمام گهڻو تابڪاري ۽ پلازما توانائي حاصل ڪري ٿو، ۽ هيٺان کان ٿڌي گئس وهندي آهي. گرمي پد جو فرق مواد ۾ حرارتي دٻاءُ جو سبب بڻجي ٿو. مختلف درجه حرارت سان ڌاتو يا ڪوٽيڊ مٿاڇري جي بار بار سائيڪل هلائڻ ڊسڪ مواد جي توسيع ۽ سڪڙڻ جو سبب بڻجي ٿو. جيتوڻيڪ هر حرارتي چڪر تي دٻاءُ نسبتاً ننڍو ٿي سگهي ٿو، جڏهن سوين يا هزارين ڀيرا بار بار ڪيو وڃي ٿو، ته جمع ٿيل بقايا دٻاءُ حرارتي خرابي کي پيدا ڪرڻ شروع ڪري ٿو. ڪجهه علائقا ٻين کان وڌيڪ وڌندا ۽ وڌندا آهن ۽ ڊسڪ ۾ معمولي وارپ جو سبب بڻجندا آهن. هي معمولي جھڪاءُ گئس ڪشن کي خراب ڪري سگهي ٿو جيڪو ڊسڪ کي هڪجهڙائي سان ترڻ جي اجازت ڏئي ٿو. حرارتي خرابي ڊسڪ تي درجه حرارت جي گريڊينٽ ذريعي پڻ پيدا ٿي سگهي ٿي. ڊسڪ جو هڪ حصو گرمي جي ذريعن جي ويجهو ٿي سگهي ٿو يا ٿورو گهٽ ٿڌي گئس جي وهڪري حاصل ڪري سگهي ٿو. پوءِ هڪ حصو ٻئي کان وڌيڪ پکڙيل آهي. هي مسئلو سار سنڀال يا صفائي کان پوءِ پيدا ٿي سگهي ٿو ڇاڪاڻ ته گئس جي وهڪري جون خاصيتون اڪثر تبديل ٿينديون آهن، ۽ مٿي ڏنل آپريشن کان پوءِ غير مستحڪم ڊسڪ ليولنگ ​​جو مشاهدو ڪرڻ عام آهي. ڪرپ پڻ هڪ مسئلو آهي. تيز گرمي پد مسلسل لوڊ هيٺ ڊسڪ مواد جي بتدريج خرابي کي جنم ڏئي ٿو. هي اوچتو ٽٽڻ کان سواءِ هڪ سست عمل آهي؛ جڏهن ته، اهو سست "دٻاءُ جي يادگيري" جي نمائندگي ڪري ٿو. ڪجهه فيبز ۾، اهو ٻڌايو ويو آهي ته ڊسڪ ۾ مهينن جي خدمت کان پوءِ ظاهري خرابين کان سواءِ هڪ معمولي جھڪاءُ مليو. هڪ مثالي مثال هڪ مان ڏسي سگهجي ٿو سِڪ ايپيٽيڪسي جڏهن ويفر غير يونيفارم ٿلهي ڏيکاري ته لڪير. چيمبر ۾ گئس فلوٽنگ ڊسڪ جي احتياط سان جاچ ڪرڻ سان هڪ مقعر ڊسڪ ظاهر ٿيو. بنيادي سبب جو تجزيو ڪيو ويو ته اهو اعلي درجه حرارت جي چڪر، ۽ غير يونيفارم پوئتي گئس کولنگ وهڪري مان هو. گئس فلوٽنگ ڊسڪ جي استحڪام بنيادي طور تي ڪنٽرول ٿيل درجه حرارت جي ورڇ، قابل اعتماد گئس وهڪري، ۽ اهم ڪرپ شروع ٿيڻ کان اڳ ڊسڪ کي تبديل ڪرڻ سان لاڳاپيل آهي.

سي وي ڊي ٽي سي ڪوٽنگ جي يونيفارمٽي ڊسڪ جي فليٽنس ۽ استحڪام کي ڪيئن متاثر ڪري ٿي؟

سي وي ڊي ٽي سي ڪوٽنگ عام طور تي گئس فلوٽنگ ڊسڪ لاءِ استعمال ٿينديون آهن ڇاڪاڻ ته اهي سٺي نموني سان ترقي يافته آهن، سخت ايپيٽيڪسي ماحول ۾ گرمي ۽ سنکنرن جي مزاحمت تي اعليٰ ڪارڪردگي رکن ٿيون. پر ٽينٽالم ڪاربائيڊ جو سخت ڪوٽنگ مواد به گئس فلوٽنگ ڊسڪ جي آپريشن دوران فليٽ ۽ استحڪام تي يونيفارم ڪوٽنگ جي ٿلهي جي اهم اهميت کان بچي نٿو سگهي. جڏهن ڪوٽنگ جي ٿولهه پوري مٿاڇري تي مڪمل طور تي هڪجهڙائي هوندي آهي، ته پوءِ تيز گرمي پد ۽ گئسن جي تيز دٻاءُ هيٺ ڊسڪ هموار طور تي وڌندي، گرمي گهٽ اندروني دٻاءُ سان ڊسڪ تي هڪجهڙائي سان پکڙجي ويندي آهي. ساڳئي وقت، ڊسڪ جي هيٺان گئس کشن وڌيڪ هڪجهڙائي سان ٺهي سگهي ٿو، جيڪو واڌ دوران ويفر جي پوزيشن کي مستحڪم رکڻ ۾ مدد ڪري ٿو. مسئلو تڏهن پيدا ٿئي ٿو جڏهن پوري مٿاڇري تي ڪوٽنگ جي ٿولهه ۾ فرق هوندو آهي. هڪ پاسي جنهن ۾ ٿورو ٿلهو ڪوٽنگ سيڪشن هوندو آهي اهو ان علائقي ۾ اضافي سختي شامل ڪندو آهي ۽ اعليٰ درجه حرارت هيٺ مختلف طريقي سان جواب ڏيندو، اهو شايد سست رفتاري سان وڌي سگهي ٿو يا پتلي علائقي جي مقابلي ۾ نسبتاً سڪي به سگهي ٿو. مسلسل چڪر واري گرمائش ذريعي، انهن فرقن جي ڪري پيدا ٿيندڙ دٻاءُ اندروني دٻاءُ پيدا ڪري سگهي ٿو ۽ ڊسڪ جي بنياد جي هلڪي موڙ جو نتيجو ٿي سگهي ٿو جيڪو اصل ۾ بلڪل فليٽ هو. اصل پيداوار ۾، اسان هن مسئلي کي غير مستحڪم فلوٽ اوچائي جي طور تي ڏسندا آهيون، يا ويفرز جا مرڪز ٿورو منتقل ٿيڻ شروع ڪندا آهن، جيتوڻيڪ جڏهن ٻيو سڀ ڪجهه مڪمل طور تي عام لڳي ٿو. هڪ پيداوار انجنيئر اهو ڳولي سگهي ٿو جڏهن اهي مشاهدو ڪن ٿا ته جمع ٿيل ويفر جي مرڪز کان ڪنڊ جي ٿلهي ۾ غير متوقع طور تي اضافو ٿيو، تڏهن به، چيمبر جي جانچ ڪرڻ وقت، اهي محسوس ڪري سگهن ٿا ته فلوٽنگ ڊسڪ ۾ اڳ ۾ ئي هڪ تمام واضح "لفٽ پيٽرن" ناهي جيڪو عام طور تي ڪوٽنگ جي تبديلي سان لاڳاپيل آهي. مون کي SiC پيداوار لائن تي هن مسئلي جو هڪ مثال ياد اچي سگهي ٿو. هڪ گئس فلوٽنگ ڊسڪ ڪوٽنگ کان پوءِ بصري طور تي سٺي نظر اچي ٿي. پوءِ ان کي تيز گرمي پد جي آپريٽنگ وقت جي عرصي کان پوءِ هلڪو وارپنگ ڏيکارڻ شروع ڪيو. اسان ڏٺو ته اهو اصل ۾ تجزيي سان ٿلهي ۾ ڪيترائي مائڪرو ميٽر فرق ڏيکاري ٿو، اهو قدر جيڪو ننڍو هو اهو 1500C تي ڪم ڪندڙ ٿوري مڙيل ڊسڪ لاءِ ذميوار هو. پروسيس ۾ ڪوٽنگ دوران گئس جي وهڪري جي شرح، گرمي پد جي پروفائل ۽ ڊسڪ جي گردش جو مناسب ڪنٽرول گهربل آهي، ڪوٽنگ جي ٿولهه جي ماپ کي معمول مطابق ماپيو ويندو آهي ته جيئن پروسيس جي حالتن جي شروعاتي وهڪري کي روڪيو وڃي، ۽ ڪوٽنگ جي عمل کي ٻيهر ڪيليبريٽ ڪيو ويندو.

AMAT گيس فلوٽ ڊسڪ جي مرمت جا معيار پريسيشن ايپيٽيڪسي عملن لاءِ

AMAT Centura جهڙن درست اوزارن لاءِ ايپيٽيڪسي سامان ۾ گئس فلوٽنگ ڊسڪون تيز گرمي پد جي واڌ دوران ويفر کي مستحڪم ڪرڻ لاءِ ضروري آهن. خراب ٿيل، خراب ٿيل يا غير مساوي طور تي ڪوٽ ٿيل ڊسڪ جي مرمت ڪرڻ وقت سخت پروٽوڪول شامل آهي. مرمت جي عمل ۾ ڪا به غلطي گئس کشن جي رويي ۽ ان ڪري ويفر جي معيار کي متاثر ڪندي. مرمت کان پوءِ سڀ کان فوري طور تي جائزو ورتو ويندو مٿاڇري جي برابري. مرمت کي تمام سخت فليٽ برداشت کي پورو ڪرڻ گهرجي، ڇاڪاڻ ته وارپ جي هڪ معمولي مقدار به گئس جي وهڪري جي توازن کي خراب ڪري سگهي ٿي. ڪنهن به پيسڻ يا پالش ڪرڻ کي يقيني بڻائڻ گهرجي ته پوري مٿاڇري تان مواد جي برابر مقدار کي هٽايو وڃي؛ غير مساوي پالش ڪرڻ تمام شروعاتي ڊسڪ جي ناڪامي جو سبب آهي. ڪوٽنگ جي مرمت پڻ هڪ حساس مسئلو آهي. گهڻيون ڊسڪون CVD TaC ۽ ساڳين سخت ڪوٽنگن سان محفوظ آهن. ٻيهر ڪوٽنگ ڪرڻ تي، اهو يقيني بڻائڻ ضروري آهي ته پرت جي ٿولهه ڊسڪ جي پوري مٿاڇري تي هڪجهڙائي هجي. غير برابر ڪوٽنگ جي ٿولهه ان حصي کي گرم ڪرڻ تي مختلف طريقي سان جواب ڏيڻ جو سبب بڻجي ٿي ۽ آپريشن دوران جھڪاءُ يا غير مساوي لفٽ ۾ حصو وٺي سگهي ٿي. فيبز ڏٺو آهي ته ڊسڪ مرمت کان پوءِ بصري معائنو پاس ڪن ٿا، پر هن خرابي جي ڪري ڪجهه چڪرن کان پوءِ غير مستحڪم فلوٽ اونچائي پيدا ڪن ٿا. جيتوڻيڪ اهو معمولي لڳي ٿو، مرمت کان اڳ صفائي انتهائي اهم آهي. بيس سبسٽريٽ تي غير هٽايل آلودگي يا رد عمل جون شيون نئين ڪوٽنگ بانڊ جي سالميت کي نقصان پهچائينديون. هڪ SiC ايپيٽيڪسي لائن تي، هڪ مرمت ٿيل ڊسڪ کي پيداوار ڏانهن واپس پهچايو ويو ۽ هڪ هفتي کان پوءِ ويفر تي وائبريشن جا نشان ڏيکاريا ويا. ڊسڪ جي مرمت کان پوءِ معائنو مرمت جي ڪوٽنگ جي هيٺان ڦاٿل رهجي کي ظاهر ڪيو جيڪو حرارتي سائيڪلنگ جي ڪري آهستي آهستي وڌي رهيو هو. مرمت کان پوءِ، ڊسڪ اڪثر ڪري مرمت دوران ٿيندڙ دٻاءُ کي دور ڪرڻ لاءِ بلند درجه حرارت تي حالت ۾ هوندا آهن. آپريٽر هن عمل دوران ڊسڪ جي نگراني ڪندا آهن ته جيئن وارپنگ يا غير مطابقت واري لفٽنگ جي شروعاتي اشارن کي ڳولي سگهجي. اهو ضروري آهي ته نقصان جي مرمت نه رڳو ڪئي وڃي، پر حرارتي ملڪيتن جي اصل توازن، مٿاڇري جي همواري، ۽ گئس جي وهڪري جي توازن کي واپس آندو وڃي ته جيئن مرمت ٿيل ڊسڪ پيداوار دوران نئين وانگر ڪم ڪري.

گرمي جي ورڇ ۽ ويفر ليويٽيشن استحڪام جي وچ ۾ تعلق

ايپيٽيڪسي دوران ويفر کي برابر ڪرڻ دوران، ڊسڪ ۽ چيمبر ۾ گرمي ڪيئن برابر ورهائجي ٿي، اهو اهم آهي. جيڪڏهن گرمي برابر پکڙيل آهي، ته ان جي هيٺان گئس فلم هڪجهڙي هوندي ۽ ويفر متوازن رهندو. غير مساوي گرمي نازڪ توازن کي خراب ڪرڻ شروع ڪندي. هڪ حقيقي AMAT سينٽورا قسم جي عمل دوران ويفر جو مرڪز ڪنارن کان گهڻو گرم هوندو. ان جو سبب اهو آهي ته هيٽر پاڻ ويفر جي مٿاڇري تي مڪمل طور تي هڪجهڙي گرمي جو نقشو پيدا نه ڪري رهيو آهي، ۽ گئس جي پوئين پاسي ٿڌي هڪجهڙي نه ٿي سگهي ٿي. جڏهن ويفر هڪ جاءِ تي گرم ٿئي ٿو، ته اهو ان خاص جاءِ تي وڌيڪ پکڙجي ٿو، جيڪو ڪڏهن به هيٺان گئس جي وهڪري جي نموني کي ٿورو تبديل ڪري ٿو. هڪ ڀيرو گئس جي وهڪري کي تبديل ڪيو وڃي ٿو، ويفر جي ليويٽيشن اوچائي تبديل ڪئي وئي آهي. ويفر جو هڪ پاسو ٻئي کان ٿورو مٿي ترندو. جڏهن ته اهو هميشه ننگي اک سان نظر نه اچي سگهي ٿو، هڪ پروسيس ٽول ان کي واڌ جي عمل دوران ننڍڙي حرڪت يا oscillation طور پڙهي سگهي ٿو. ان کي تصور ڪرڻ جو آسان طريقو اهو آهي ته هڪ تمام پتلي ايئر هاڪي پڪ تصور ڪيو وڃي پر راند جي مٿاڇري جي هڪ پاسي کي ٿورو گرم ڪيو وڃي؛ پڪ اڃا تائين ترندو، پر مٿاڇري جي ٿڌي پاسي ڏانهن وڌندو يا جهڪيندو. ساڳيو تصور واڌ چيمبر تي لاڳو ٿئي ٿو. اصل پيداوار دوران اهو ويفرز تي ڪنڊ کان مرڪز ٿلهي جي تبديلي، ۽/يا ڊگهي ڊوڙ کان پوءِ ترتيب ۾ معمولي تبديلين جي طور تي ظاهر ٿيندو. هڪ فيب ٽيم سار سنڀال ڪرڻ کان پوءِ ٿوري غير مستحڪم ايپيٽيڪسي واڌ جو تجربو ڪيو هو، ۽ معائني ذريعي دريافت ڪيو ته چيمبر جي حرارتي پروفائل ۾ هڪ تبديلي ڪئي وئي هئي؛ انهن گرم زون کي ٿورو منتقل ڪيو، جنهن ڊسڪ کي برابر ڪرڻ واري گئس کي غير مساوي گرمي سان ڪم ڪرڻ کان روڪيو جيئن ان کي ڪرڻ گهرجي.

ليويٽنگ ڊسڪ جي عدم استحڪام کي گھٽ ڪرڻ لاءِ، آپريٽر عام طور تي ٽن مکيه شين تي ڌيان ڏيندا: هيٽر عنصرن جي ملندڙ پروفائلز، مسلسل پٺئين پاسي گئس جو وهڪرو، ۽ چيمبر او-رنگ ۽ ڊسڪ جي مٿاڇري تي لباس ۾ ڪا به تبديلي.

ڊگهي مدت جي حرارتي اعتبار لاءِ گئس فلوٽنگ ڊسڪ ڊيزائن کي بهتر بڻائڻ

هڪ ايپيٽيڪسي ٽول ۾ ڪيترن ئي چڪرن لاءِ استعمال لاءِ گئس فلوٽنگ ڊسڪ کي ڊزائين ڪرڻ ۾ گهڻو ڪري حرارتي ڪارڪردگي شامل آهي. نه رڳو ان کي تيز گرمي پد تي ڪم ڪرڻ گهرجي، پر ان کي 100 کان 1000 رن کان پوءِ ائين ڪرڻ گهرجي، بغير آهستي آهستي فليٽنس مان نڪرڻ جي. مواد جي چونڊ هتي اهم آهي. سبسٽريٽ مواد کي وقت سان گڏ هڪ وڏو دٻاءُ پروفائل پيدا ڪرڻ کان سواءِ حرارتي سائيڪلنگ مان گذرڻ جي قابل هجڻ گهرجي. دٻاءُ جمع ٿيندو جيڪڏهن مواد ۾ اعليٰ کوٽائيون آهن ۽ تيز حرارتي چڪرن مان گذري ٿو. سبسٽريٽ جي حرارتي توسيع کي اوورڪوٽ سان چڱي طرح ملائڻ گهرجي. هڪ شاندار ماحول ۾ مواد جي وچ ۾ معمولي حرارتي بي ترتيبيون به وقت سان گڏ وڌنديون ۽ ڊسڪ وار پيج ٿيندي، جيتوڻيڪ شروعات ۾ اهو ٺيڪ نظر اچي سگهي ٿو. اوور ڪوٽ ڊيزائن به ساڳيو ئي اهم آهي. ڊسڪ تي هڪجهڙائي CVD TaC ڪوٽنگ ان کي ان جي مٿاڇري تي هڪجهڙائي سان گرمي جذب ڪرڻ ۾ مدد ڪندي. جيڪڏهن ڪوٽنگ جي ٿلهي مختلف آهي ته ان جي مٿاڇري تي مختلف حرارتي رد عمل جي شرح هوندي، حرارتي متاثر ٿيل دٻاءُ پيدا ڪندي جيڪو وقت سان گڏ ڊسڪ کي وار پيج ڪندو. اهو سمجهيو ويندو آهي ته ڪجهه پيداوار ٽيمن ۾ اهو ڊگهي ڊوڙ دوران ٿي سگهي ٿو ڇاڪاڻ ته ڊسڪ آهستي آهستي فليٽ کان گنبد واري شڪل ۾ منتقل ٿين ٿا. جاميٽري خاصيتون پڻ تمام اهم آهن. سوراخ جي نموني، ڪنڊ جي ٿلهي، سپورٽ علائقن، ۽ ٻين خاصيتن ۾ ڪو به انحراف، ڊسڪ جي هيٺان گئس جي وهڪري جي رويي کي مختلف ڪري سگهي ٿو. غير يونيفارم وهڪري ڊسڪ کي پروسيس جي حالتن ۾ غير مساوي طور تي کڻڻ جو سبب بڻجي سگهي ٿو، تھرمل سائيڪلنگ دوران اضافي دٻاءُ پيدا ڪري ٿو، جيڪو لباس کي تيز ڪندو. تھرمل دٻاءُ هيٺ ڪم ڪندڙ ھڪ بھتر ڊيزائن جو ھڪڙو مثال SiC ايپيٽيڪسي لائن تي ڏٺو ويو؛ انھن جي اپڊيٽ ٿيل ڊسڪ ڊيزائن تي سوئچ ڪرڻ کان اڳ، انھن وٽ ڊگھي ڊوڙ کان پوءِ اھم ليولنگ ​​ڊرفٽ ھو. اصلاح ٿيل فلو چينلز سان ڊسڪ تي سوئچ ڪرڻ تي، ڊرفٽ گھٽجي ويو، ڇاڪاڻ ته ڊسڪ جي لفٽ پروفائل کي آپريشن دوران وڌيڪ صحيح طور تي برقرار رکيو ويو جيئن اصل ۽ اپ گريڊ ٿيل ڊسڪ جي ڊگھي مدت جي سار سنڀال جي چڪاسن جي تصديق ڪئي وئي. حرارتي اعتبار پڻ کولنگ خاصيتن تي منحصر آھي. جيڪڏهن ڊسڪ هڪجهڙائي سان ٿڌي نه ٿئي، ته اهو دٻاءُ کي "لاڪ ان" ڪري سگهي ٿو ۽ نتيجي طور سائيڪل هلائڻ سان وڌيڪ خرابي جو سبب بڻجي سگهي ٿو. بنيادي طور تي ڊگهي مدت جي فليٽنس مواد ۽ ڪوٽنگ جي ڪارڪردگي ۽ ڊسڪ ذريعي ٺهيل گئس جي وهڪري جي وچ ۾ توازن حاصل ڪرڻ سان حاصل ڪئي ويندي آهي.