سي سي سيرامڪس

سيمي ڪنڊڪٽر سامان ۾ سي سي سيرامڪس وڌيڪ ۽ وڌيڪ استعمال ڪيا ويندا آهن، خاص طور تي ڇاڪاڻ ته اهي سخت حالتن ۾ بهتر طور تي برقرار رهن ٿا. جڏهن گرمي پد وڌي ويندو آهي يا عمل وڌيڪ جارحاڻو ٿي ويندو آهي، ته ڪوارٽز يا سلڪون جهڙا مواد حدون ڏيکارڻ شروع ڪري سگهن ٿا، ۽ اهو عام طور تي اهو آهي جتي سي سي اچي ٿو. آڪسائيڊيشن يا ڊفيوژن جهڙن فرنس جي عملن ۾، سي سي مان ٺهيل ويفر بوٽ يا پيڊلز جهڙا حصا گهڻي وقت تائين رهندا آهن. اهي پنهنجي شڪل برقرار رکندا آهن ۽ ڊگهي ڊوڙ کان پوءِ به گهڻو آلودگي نه آڻيندا آهن. ماڻهو اڪثر ڪري هن سبب لاءِ ڪوارٽز کان سوئچ ڪندا آهن، خاص طور تي جڏهن سار سنڀال تمام گهڻي ٿيندي آهي.

ايچنگ لاءِ، SiC اڪثر ڪري صرف ان ڪري چونڊيو ويندو آهي ڇاڪاڻ ته اهو پلازما ۾ گهڻي وقت تائين زنده رهي ٿو. سلڪون حصن جي مقابلي ۾ زندگي جو فرق ڪيترن ئي سيٽ اپ ۾ قابل ذڪر آهي، جيتوڻيڪ اهو اڃا تائين صحيح عمل تي منحصر آهي. اهو پارٽيڪل ڪنٽرول سان پڻ ٿوري مدد ڪري ٿو، جيڪو نوڊس جي سڪي وڃڻ سان وڌيڪ حساس ٿي ويندو آهي. توهان MOCVD يا CVD ۾ SiC کي سسپيٽر طور استعمال ڪندي پڻ ڏسندا. انهن حالتن ۾، اهو "طاقت" بابت گهٽ ۽ گرمي پد جي رويي کي مستحڪم رکڻ بابت وڌيڪ آهي. ان کان ٻاهر، اهو چيمبر حصن جهڙوڪ لائنر يا شاور هيڊز ۾، ۽ ڪڏهن ڪڏهن حصن کي هٿ ڪرڻ ۾ پڻ ظاهر ٿئي ٿو.