اعليٰ پاڪائي واري ڪوارٽز ڊفيوژن ٽيوب

سيميڪس ليب هاءِ پيورٽي ڪوارٽز ڊفيوژن ٽيوب خاص طور تي سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ اعليٰ درجه حرارت جي حرارتي عملن لاءِ ٺهيل آهي، جنهن ۾ آڪسائيڊشن، ڊوپنٽ ڊفيوژن، ۽ اينيلنگ شامل آهن.

الٽرا هاءِ پيوريٽي فيوزڊ سليڪا (≥99.99% SiO₂) مان ٺهيل، هر ٽيوب غير معمولي ڪيميائي استحڪام، گهٽ ۾ گهٽ آلودگي، ۽ صحيح حرارتي هڪجهڙائي پهچائڻ لاءِ ٺهيل آهي - صاف ڪمري جي ماحول ۾ مسلسل ويفر پروسيسنگ جي نتيجن کي يقيني بڻائيندي.

ڇا عمودي يا افقي ڊفيوژن فرنس ۾ ضم ٿيل آهن، سيميڪسليب جون ڪوارٽز ٽيوبون درستگي سان ٺهيل آهن ۽ IC، LED، MEMS، ۽ پاور ڊوائيس فيبريڪيشن جي سخت گهرجن کي پورو ڪرڻ لاءِ مڪمل طور تي جانچيل آهن.

سيمي ڪنڊڪٽر عملن ۾ ايپليڪيشنون

1. حرارتي آڪسائيڊشن

ٿرمل آڪسائيڊيشن فرنس ۾، ڪوارٽز ڊفيوژن ٽيوب بنيادي رد عمل چيمبر طور ڪم ڪن ٿا جتي سلڪون ويفرز بلند درجه حرارت (900–1150°C) تي O₂ يا H₂O وانپ جي سامهون ايندا آهن.

● هڪجهڙائي SiO₂ واڌ ويجهه لاءِ صاف ۽ مستحڪم آڪسيجن ماحول فراهم ڪري ٿو.

● ڌاتو آئن جي آلودگي کي ختم ڪري ٿو، گيٽ ۽ آئسوليشن آڪسائيڊ لاءِ اعليٰ ڊائي اليڪٽرڪ سالميت کي يقيني بڻائي ٿو.

اعليٰ پاڪائي وارو ڪوارٽز ڊفيوژن ٽيوب ويفر پروسيسنگ لاءِ مثالي آهي

2. ڊوپنٽ ڊفيوژن

ڪوارٽز ڊفيوژن ٽيوب ڊوپنٽ ايٽمز (جهڙوڪ فاسفورس يا بوران) کي سلڪون سبسٽريٽ ۾ ڦهلائڻ لاءِ استعمال ڪيا ويندا آهن ته جيئن گهربل جنڪشن پروفائلز ٺاهي سگهجن.

● بهترين ڪيميائي جمود POCl₃ يا BBr₃ جي رد عمل دوران آلودگي کي روڪي ٿو.

● هيلوجن تي ٻڌل ماحول ۾ به اعليٰ پاڪائي برقرار رکي ٿو.

3. اينيلنگ ۽ ڊرائيو-ان عمل

آئن امپلانٽيشن يا جمع ٿيڻ کان پوءِ، ويفرز کي ڊوپنٽ کي چالو ڪرڻ ۽ جالي جي نقصان جي مرمت لاءِ اعليٰ درجه حرارت جي اينيلنگ مان گذرڻو پوندو آهي.

● ڪوارٽز ٽيوب مستحڪم ۽ ٻيهر پيدا ٿيندڙ نتيجن لاءِ هڪ گرمل طور تي هڪجهڙائي، گهٽ آلودگي وارو چيمبر فراهم ڪن ٿا.

● N₂ ۽ گئس اينيلنگ ماحول ٻنهي لاءِ مناسب.

4. ايل پي سي وي ڊي ۽ آر اينڊ ڊي ٿرمل پروسيسنگ

ننڍي پيماني تي LPCVD يا ريسرچ فرنس ۾، ڪوارٽز ڊفيوژن ٽيوب رد عمل ۽ ڪنٽينمينٽ چيمبر ٻنهي طور ڪم ڪري سگهن ٿا.

● پوليسيلڪون، سلڪون نائٽرائڊ، ۽ آڪسائيڊ فلمن جي جمع ڪرڻ لاءِ مثالي.

● گهٽ ذرڙن جي ٺهڻ ۽ ڊوڙن ۾ وڌيڪ ورجائڻ جي صلاحيت کي يقيني بڻائي ٿو.

سيميڪسليب جا فائدا

1. مواد جي پاڪائي ۽ ڳولا جي صلاحيت

هر ڪوارٽز ٽيوب تصديق ٿيل سپلائرز کان حاصل ڪيل الٽرا پيور فيوزڊ سليڪا مان ٺهيل آهي. ICP-MS تجزياتي رپورٽون درخواست تي دستياب آهن، هر بيچ جي ٽريڪ ايبلٽي جي ضمانت ڏين ٿيون.

2. درستگي جي پيداوار ۽ ڪسٽمائيزيشن

سيميڪس ليب گراهڪن جي گهربل مخصوص فرنس جي ماپ، حرارتي پروفائلز، ۽ گئس جي وهڪري جي نمونن کي پورو ڪرڻ لاءِ ڪسٽمائيز ڊيزائن پيش ڪري ٿو.

اختيارن ۾ شامل آھن

● عمودي يا افقي ٽيوب ترتيبون

● ترتيب ڏنل قطر، ڀت جي ٿلهي، ۽ آخر ۾ ڦڦڙا

● پالش ٿيل يا etched مٿاڇري ختم

● گھڻ-ويفر ڪيريئرز لاءِ خاص هينڊلنگ ڊيزائن

3. سخت جاچ ۽ معيار جي ضمانت

هر ڊفيوژن ٽيوب شپمينٽ کان اڳ طول و عرض جي چڪاس، مٿاڇري جي سالميت جي جاچ، ۽ حرارتي دٻاءُ جي تخليق مان گذري ٿي. هي صنعت جي معروف ڊفيوژن فرنس سسٽم جهڙوڪ TEL، Kokusai، Centrotherm، ۽ ASM سان مطابقت کي يقيني بڻائي ٿو.