سوراخ وارو گريفائٽ

پورس گريفائٽ بنيادي طور تي PVT (فزيڪل وانپ ٽرانسفر) سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) سنگل ڪرسٽل گروٿ پروسيس ۾ استعمال ٿيندو آهي، جيڪو اعليٰ درجه حرارت جي حرارتي فيلڊ سسٽم جو بنيادي مواد آهي. پراڊڪٽ الٽرا هاءِ پيوريٽي آئوسٽيٽيڪلي پريسڊ گريفائٽ مان ٺهيل آهي، جيڪو درست CNC مشيننگ ۽ پور ڪنٽرول ٽيڪنالاجي ذريعي هڪ يونيفارم ۽ ڪنٽرول لائق پورس ڍانچي ٺاهيندو آهي، انتهائي پروسيس حالتن (2200℃) ۾ بهترين ڪارڪردگي کي يقيني بڻائيندو آهي. ان جو منفرد ڊيزائن خاص طور تي ٿرمل فيلڊ يونيفارميت کي بهتر بڻائي ٿو ۽ گيس فيز ٽرانسفر ڪارڪردگي کي بهتر بڻائي ٿو، جيڪو اعليٰ معيار جي SiC ڪرسٽل گروٿ لاءِ هڪ اهم ضمانت آهي.

بنيادي خاصيتون ۽ عمل جا فائدا:

انتهائي پاڪائي ۽ گهٽ نقص جي شرح

ويڪيوم هاءِ-ٽيمپريچر صاف ڪرڻ وارو عمل (3000℃ علاج) غير ڌاتو نجاست جهڙوڪ آڪسيجن ۽ نائٽروجن جي مواد کي وڌيڪ گهٽائڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي. نجاست سبب پيدا ٿيندڙ ڪرسٽل نقصن (جهڙوڪ مائڪروٽيوبولس، ڊسلوڪيشن) کي ختم ڪريو ته جيئن SiC سنگل ڪرسٽل جي برقي ڪارڪردگي جي تسلسل کي يقيني بڻائي سگهجي.

الٽرا هاءِ گرمي پد جي استحڪام ۽ حرارتي ميدان جو ڪنٽرول

آرگن/ويڪيوم ماحول ۾، اهو 1000 ڪلاڪن کان وڌيڪ عرصي تائين 2200 ℃ مسلسل آپريشن کي برداشت ڪري سگهي ٿو، حرارتي توسيع جو گهٽ گنجائش، ۽ حرارتي دٻاءُ جي ڪري مواد جي ڀڃڪڙي کان بچي سگهي ٿو.

پوروسٽي گريڊينٽ ڊسٽريبيوشن ڊيزائن کي سپورٽ ڪري ٿي، جيڪا CFD سموليشن سان گڏ پور سائيز (10-200μm) کي بهتر بڻائي ٿي، ٿرمل فيلڊ ڊسٽريبيوشن کي صحيح طور تي منظم ڪري ٿي، گرمي پد جي گريڊينٽ جي اتار چڙهاؤ کي گهٽائي ٿي (±3℃ اندر)، ۽ ڪرسٽل جي واڌ جي یکسانيت کي بهتر بڻائي ٿي.

ڪسٽمائيز حل

جاميٽري موافقت: پيچيده شڪل جي پروسيسنگ کي سپورٽ ڪريو (جهڙوڪ اينولر ڪروسيبل، ملٽي ليئر شيلڊ)، ڪسٽمر فرنس جي جوڙجڪ سان ملندڙ.

مٿاڇري جو علاج: سنکنرن جي مزاحمت ۽ سروس جي زندگي کي وڌائڻ لاءِ الٽرا-پريسيزن پالشنگ يا ڪوٽنگ جون خدمتون مهيا ڪريو.

ايپليڪيشن جي ڪارڪردگي جي تصديق

PVT SiC ڪرسٽلائيزيشن جي عمل ۾، هڪ ڪروسيبل ۽ حرارتي ميدان جي جزو جي طور تي:

ڪرسٽل جي واڌ جي شرح کي 15%-20% وڌايو (روايتي گريفائٽ جي مقابلي ۾)؛

ويفر جي پيداوار 90 سيڪڙو کان وڌيڪ وڌي وئي (4 انچ SiC سنگل ڪرسٽل)؛

سامان جي سار سنڀال جي مدت 6 مهينن تائين وڌائي وئي آهي (معمول مطابق 3 مهينا).

تڪڙو تفصيل:

1. ٻيا نالا: پي وي ٽي گريفائيٽ ڪروسيبل، سلڪون ڪاربائيڊ واڌ ويجهه سان پورس گريفائيٽ.

2. ايپليڪيشن: پي وي ٽي طريقو (فزيڪل گيس ٽرانسپورٽ جو طريقو) سي آءِ سي سنگل ڪرسٽل گروٿ ڪور ٿرمل فيلڊ جزو.

3. بنيادي پيرا ميٽر: پاڪائي ≥99.9995٪، پورسيٽي 15-30٪، گرمي پد جي مزاحمت 2200 ℃ (غير فعال گئس ماحول)، حرارتي چالکائي 100-150 W/m·K.

پي وي ٽي گروٿ فرنس اسيمبلي: سي آءِ سي مواد جي سبليميشن ۽ ڪرسٽل گروٿ جي حصي طور، هڪ مستحڪم ٿرمل فيلڊ ورڇ فراهم ڪري ٿي.

حرارتي ميدان جي بچاءُ وارو جزو: ٻرندڙ ڍانچو مؤثر طريقي سان حرارتي دٻاءُ کي گھٽائي ٿو ۽ سامان جي سروس لائف کي وڌائي ٿو.

ٻج جي ڪرسٽل بریکٹ: ٻج جي ڪرسٽل کي سهارو ڏيڻ لاءِ اعليٰ مشيني طاقت، ڪرسٽل جي هدايتي واڌ کي يقيني بڻائڻ لاءِ.

گئس جي پکيڙ واري پرت: گئس جي مرحلي جي منتقلي جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻايو، سنگل ڪرسٽل جي معيار ۽ واڌ جي شرح کي بهتر بڻايو.

انتهائي تيز گرمي پد جي ڪارڪردگي: 2200 ℃ تي ڪا به نرمي خرابي ناهي، 1000 ڪلاڪن کان وڌيڪ مسلسل مستحڪم آپريشن جي حمايت ڪندي.

ڪسٽم ٿرمل فيلڊ ڊيزائن: پور گريڊينٽ کي بهتر بڻائڻ، ڪرسٽل جي هڪجهڙائي ۽ پيداوار کي بهتر بڻائڻ لاءِ CFD سموليشن سان گڏ.

تيز ورهاڱي جي خدمت: پروسيس پيرا ميٽر ميچنگ ٽيسٽ فراهم ڪريو ۽ 72 ڪلاڪن اندر پروٽوٽائپ حل پهچايو.