اعليٰ پاڪائي وارو آئسو اسٽيٽڪ گريفائيٽ

اعليٰ پاڪائي وارو آئوسوسٽٽڪ گريفائٽ هڪ قسم جو خاص گريفائٽ مواد آهي جيڪو ٿڌي آئوسوسٽٽڪ مولڊنگ (CIP) ۽ الٽرا هاءِ ٽمپريچر گرافيفڪيشن عمل (2800 ℃ کان مٿي) ذريعي تيار ڪيو ويندو آهي. ان جو ڪاربان مواد ≥99.9995٪ آهي، اهم ڌاتو جي نجاست (Fe، Ni، Cr) ≤0.3ppm، بوران/فاسفورس مواد ≤0.05ppm، راھ جو مواد ≤5ppm. سيمي ڪنڊڪٽر گريڊ صاف معيار (SEMI F63) سان ملن ٿا. مواد جي اندروني جوڙجڪ ٽي-dimensional آئسوٽروپڪ آهي، اناج جو سائز هڪجهڙو آهي (D50=10-15μm)، کثافت 1.85-1.90g/cm³ آهي، ۽ ان ۾ الٽرا هاءِ ٿرمل چالکائي (120-150W/m·K) ۽ انتهائي گهٽ ٿرمل توسيع ڪوئفيشينٽ (CTE≤4.0×10-6/K، 20-1000 ℃) آهي. اهو 1600 ℃ غير فعال ماحول ۾ ڊگهي وقت تائين استعمال ڪري سگهجي ٿو، ۽ حرارتي جھٽڪي جي چڪر جو تعداد 500 ڀيرا کان وڌيڪ آهي (1200 ℃ ↔ ڪمري جي گرمي پد ۾ تيز تبديلي).

ترقي يافته پيداوار جو عمل

خام مال جي صفائي

الٽرا لو سلفر پيٽروليم ڪوڪ کي سبسٽريٽ طور استعمال ڪندي، پلازما ڪيميڪل وانپ صاف ڪرڻ واري ٽيڪنالاجي ذريعي 99.9999٪ ڌاتو جي نجاست کي هٽايو ويو، ۽ هائيڊروڪلورڪ ايسڊ-هائيڊروفلورڪ ايسڊ گريڊينٽ پڪلنگ جي عمل سان راھ جي مواد کي شروعاتي 300ppm کان 5ppm کان گهٽ ڪيو ويو.

آئسو اسٽيٽڪ پريسنگ مولڊنگ

60 منٽن لاءِ 200MPa الٽرا هاءِ پريشر جي مائع وچولي ۾، پائوڊر ذرڙن جي جامع کثافت جو احساس ٿئي ٿو، مادي کثافت جو انحراف 0.5٪ کان گهٽ آهي، ۽ روايتي مولڊنگ جي عمل جي کثافت گريڊينٽ خرابي مڪمل طور تي ختم ٿي ويندي آهي.

الٽرا هاءِ ٽمپريچر گرافائيزيشن

آرگن گيس جي حفاظت هيٺ 2800-3200 ℃ تي 120 ڪلاڪن تائين مسلسل گرافائيزيشن ڪئي وئي. گرافائيزيشن جي ڊگري ≥98٪ هئي، ليٽيس پرت جي فاصلي (d002) 0.3354-0.3360nm تي مستحڪم هئي، ۽ آئسوٽروپڪ ريٽ (CTE اينيسوٽروپي) ≤3٪ هئي.

درست مشيننگ ۽ مٿاڇري جو علاج

ان کي پنج محور واري سي اين سي مشين ٽول ذريعي پروسيس ڪيو ويندو آهي، طول و عرض جي درستگي ±0.01 ملي ميٽر آهي، ۽ مٿاڇري جي خرابي Ra≤0.4μm آهي. SiC يا TaC ڪيميائي بخار جمع ڪرڻ واري ڪوٽنگ (ٿلهائي 2-5μm) اختياري آهن ته جيئن تيز گرمي پد جي اتار چڙهاؤ کي 1μg/cm²·h تائين گهٽائي سگهجي.

سيمي ڪنڊڪٽر فيلڊ ۾ بنيادي ايپليڪيشن

مونو ڪرسٽل لائن سلڪون جي واڌ لاءِ حرارتي ميدان جو نظام

ڪروسيبل ۽ هيٽر: آرگن ماحول ۾ 1600 ℃ تي مسلسل آپريشن 6000 ڪلاڪن تائين بغير ڪنهن خرابي جي، 300 ملي ميٽر ويفر جي واڌ کي سپورٽ ڪندي محوري درجه حرارت گريڊينٽ ≤2 ℃/cm، ڪاربان آلودگي جي ڪري ليٽيس خرابي جي شرح < 0.05/cm².

حرارتي موصليت وارو سلنڈر ۽ وهڪري جي گائيڊ سلنڈر: پورس گريڊينٽ اسٽرڪچر ڊيزائن (پوروسيٽي 5-20٪ ايڊجسٽبل)، حرارتي تابڪاري ڪارڪردگي ڪنٽرول جي درستگي ±1.5٪، سنگل ڪرسٽل سلڪون جي آڪسيجن مواد کي ڪنٽرول ڪرڻ ۾ مدد < 10¹⁴ ايٽم/cm³.

آئن امپلانٽيشن ۽ ايچنگ جو سامان

بيئرنگ ٽري ۽ فوڪسنگ رنگ: مٿاڇري جي ڌاتو جي آلودگي ≤0.1ppb، 10¹⁶ آئنز/cm² دوز بمباري جي برداشت، ۽ روايتي مواد جي ڀيٽ ۾ 3 ڀيرا وڌيڪ سروس لائف.

پلازما اليڪٽروڊ: اليڪٽران جي اخراج جي استحڪام جي انحراف < 0.5٪، 5nm پروسيس ايچنگ يونيفارم گهرجن لاءِ مناسب.

مرڪب سيمي ڪنڊڪٽرز جي ايپيٽيڪسيل واڌ

MOCVD گريفائيٽ بيس: GaN/SiC ٿولهه غير هم آهنگي < ± 1.5٪، مٿاڇري جي ڪوٽنگ گريفائيٽ وولٽيلز جي ڪري پيدا ٿيندڙ خرابي جي کثافت کي < 0.01/cm² تائين گھٽائي ٿي.

تڪڙو تفصيل:

1. ٻيا نالا: آئسو اسٽيٽيڪل پريسڊ گريفائيٽ، آئسوٽروپڪ گريفائيٽ.

2. ايپليڪيشن: سنگل ڪرسٽل فرنس ٿرمل فيلڊ، اي ڊي ايم اليڪٽروڊ، فوٽووولٽڪ سلڪون ويفر گريفائٽ مولڊ.

3. بنيادي پيرا ميٽر: پاڪائي ≥99.9995٪، کثافت 1.80-1.85g/cm³.

مونو ڪرسٽل لائن سلڪون گروٿ فرنس ٿرمل فيلڊ اسيمبلي.

اليڪٽرو ڊسچارج مشيننگ (EDM) اليڪٽروڊ.

فوٽووولٽڪ سلڪون ويفر ڪاسٽنگ لاءِ گريفائيٽ مولڊ.

انڊسٽري جي اعليٰ پاڪائي (5N گريڊ)، عمل جي آلودگي کي گھٽايو.

آئسوٽروپڪ جوڙجڪ، هڪجهڙا مشيني خاصيتون.

±0.01mm رواداري تائين درست مشيننگ جي مدد ڪريو.