سي سي ڪوٽيڊ آئي سي پي ايچنگ سسپيٽر

SiC ڪوٽيڊ ICP ايچنگ سسپيٽر هڪ اهم پلازما رابطي جو جزو آهي جيڪو خاص طور تي سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ ترقي يافته ICP (انڊڪٽولي ڪپلڊ پلازما) ايچنگ عملن لاءِ تيار ڪيو ويو آهي. اعليٰ کثافت واري پلازما ماحول ۾ جتي پروسيس استحڪام، حرارتي هڪجهڙائي، ۽ آلودگي ڪنٽرول سڌو سنئون پيداوار ۽ ڊوائيس جي ڪارڪردگي کي طئي ڪن ٿا، گريفائٽ سسپيٽر ويفر، پلازما، ۽ حرارتي انتظام نظام جي وچ ۾ بنيادي انٽرفيس طور ڪم ڪري ٿو.

سيميڪسليب سسپيٽرز اعليٰ پاڪائي واري سيمي ڪنڊڪٽر-گريڊ آئوسٽيٽڪ گريفائٽ مواد کي استعمال ڪن ٿا جيڪو گهاٽي سلڪون ڪاربائيڊ پرت سان ڍڪيل آهي. هي ڍانچو گريفائٽ جي اعليٰ حرارتي چالکائي ۽ مشيني صلاحيت کي SiC جي غير معمولي پلازما سنکنرن مزاحمت ۽ ڪيميائي انرٽينس سان گڏ ڪري ٿو. نتيجي ۾ مضبوط حل اعليٰ آر ايف پاور، سنکنرن واري هالائيڊ تي ٻڌل ڪيميڪلز، ۽ ICP ايچنگ عملن ۾ عام شديد آئن بمباري کي برداشت ڪري ٿو.

ICP ايچ چيمبر اندر، گريفائيٽ سسپيٽر ويفر پوزيشننگ، گرمي پد ڪنٽرول، ۽ عمل جي ورجائي ۾ مرڪزي ڪردار ادا ڪري ٿو. اهو ويفرز لاءِ صحيح ميڪيڪل سپورٽ فراهم ڪري ٿو جڏهن ته پوئين هيليم کولنگ ۽ مستحڪم درجه حرارت جي ضابطي کي سپورٽ ڪرڻ لاءِ موثر گرمي جي منتقلي کي فعال بڻائي ٿو. ويفر جي مٿاڇري تي هڪجهڙائي حرارتي رويي مسلسل ايچ جي شرحن، نازڪ طول و عرض (سي ڊي) جي هڪجهڙائي، ۽ پروفائل ڪنٽرول کي برقرار رکڻ لاءِ اهم آهي - خاص طور تي اعلي اسپيڪٽ ريشو ۽ اينيسوٽروپڪ ايچنگ ايپليڪيشنن ۾. SiC ڪوٽنگ مقامي درجه حرارت جي اتار چڙهاؤ کي گھٽائي ٿي ۽ پلازما-حوصلہ افزائي خرابي کي گھٽائي ٿي.

پلازما جي رابطي جي نقطي نظر کان، SiC ڪوٽنگ فلورين ۽ ڪلورين تي ٻڌل پلازما جي خلاف هڪ انتهائي پائيدار رڪاوٽ جي طور تي ڪم ڪري ٿي جيڪا عام طور تي سلڪون، ڊائي اليڪٽرڪ، ۽ وسيع بينڊ گيپ مواد کي ايچنگ ڪرڻ لاءِ استعمال ٿيندي آهي. غير ڪوٽيڊ گريفائيٽ يا روايتي سيرامڪ مواد جي مقابلي ۾، ان جي گهٽ سنکنرن جي شرح ۽ مائڪرو آرسنگ جي اعلي مزاحمت جزو جي عمر کي خاص طور تي وڌائي ٿي. ساڳئي وقت، گهاٽي SiC پرت ذرات جي پيداوار ۽ ڌاتو جي آلودگي کي دٻائي ٿي، ترقي يافته سيمي ڪنڊڪٽر فيبز ۾ سخت صفائي جي گهرجن کي پورو ڪندي جڏهن ته اعليٰ مجموعي سامان جي اپ ٽائم ۽ ناڪامين جي وچ ۾ اوسط وقت (MTBF) جي حمايت ڪندي.

SiC ڪوٽيڊ ICP ايچنگ سسپيٽر سيميڪسليب ٽيڪنالاجي جي پلازما ايچنگ فزڪس، مواد انجنيئرنگ، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي گهرجن جي گهري سمجھ کي ظاهر ڪري ٿو. اعليٰ پاڪائي واري گريفائيٽ سسپيٽرز کي جديد SiC ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي سان ضم ڪندي، سلڪون ڪاربائيڊ ڪوٽيڊ ICP ايچنگ سسپيٽر هڪ متوازن حل فراهم ڪري ٿو جيڪو مؤثر طريقي سان عمل جي استحڪام کي وڌائي ٿو، جزو جي عمر وڌائي ٿو، ۽ ICP ايچنگ ٽيڪنالاجي جي مسلسل ترقي جي حمايت ڪري ٿو.

سي سي ڪوٽيڊ آئي سي پي ايچنگ سسپيٽرز جي هڪ معروف چيني ٺاهيندڙ جي حيثيت سان، سيميڪس ليب سيمي ڪنڊڪٽر ايچنگ انڊسٽري لاءِ جديد ٽيڪنيڪل صلاحڪاري ۽ ڪسٽمائيز پراڊڪٽ حل فراهم ڪرڻ لاءِ پرعزم آهي. اسان خلوص دل سان چين ۾ توهان جي ڊگهي مدي واري ڀائيوار بڻجڻ جي منتظر آهيون.