ايل اي ڊي ايچنگ لاءِ سي آءِ سي ڪيريئر پليٽ

Ⅰ. مواد ۽ ساخت جي ڊيزائن

سيميڪسليب جو انجنيئرنگ انتخاب هڪ ٿلهي، گهاٽي CVD Sic ڪوٽنگ سان هڪ اعليٰ پاڪائي واري آئوسٽيٽڪ گريفائيٽ سبسٽريٽ جو:

1. گريفائيٽ سبسٽريٽ تمام سٺي بلڪ ٿرمل چالکائي، گهٽ مخصوص وزن، ۽ ٿرمل جھٽڪي جي بهترين مزاحمت پيش ڪري ٿو - نبض ٿيل يا ڊگھي ايچ سائيڪل دوران ڪيريئر پليٽ تي تيز ٿرمل برابري ۾ مدد ڪري ٿو. گريفائيٽ درستگي جي خاصيتن ۽ جاميٽري کي ڳولڻ لاءِ مشيننگ کي پڻ آسان بڻائي ٿو.

2. CVD SiC ڪوٽنگ هڪ ڪيميائي طور تي غير فعال، لباس مزاحمتي مٿاڇري ٺاهيندي آهي جيڪا سڌو سنئون پلازما ۽ ويفر جي پٺئين پاسي سان ڳنڍيل آهي. ننگي گريفائٽ جي مقابلي ۾، CVD SiC مٿاڇري فعال سائيٽن کي ختم ڪري ٿي، ڪاربن سان لاڳاپيل آلودگي کي گھٽائي ٿي، ۽ هالوجن پلازما جي مزاحمت کي ڊرامائي طور تي بهتر بڻائي ٿي.

3. گڏيل نتيجو: هائبرڊ structure گريفائٽ جي حرارتي فائدن ۽ مشيني صلاحيت کي برقرار رکي ٿو جڏهن ته SiC جي آلودگي ڪنٽرول ۽ مٿاڇري جي استحڪام کي پهچائي ٿو.

Ⅱ. عام چئلينج ۽ سيميڪس ليب حل

1. ذرات جي پيداوار ۽ مٿاڇري جي آلودگي

حل: ڊينس سي وي ڊي سي آءِ سي ٽاپ ليئر + ملٽي اسٽيج نانو پالش فنش (عام را ≤0.2 μm). شپمينٽ کان اڳ آئوٽ گيسنگ ۽ پارٽيڪيوليٽ ٽيسٽ؛ وڌيڪ لائف سائيڪل تحفظ لاءِ اختياري حفاظتي لائنر.

2. ڪيريئر مٿاڇري جو پلازما ڪٽڻ

حل: بهتر ڪيل CVD SiC ٿولهه (گراهڪ جي مخصوص، عام 100-300 μm) ۽ انتهائي ڪيمسٽري ۾ اختياري TaC سيلنگ پرتون. قابليت کان اڳ تيز پلازما لائف ٽيسٽنگ (پروسيس ريسيپي سموليشن).

3. ڪوٽنگ ڊيليمينيشن يا انٽرفيس ناڪامي

حل: مٿاڇري کان اڳ علاج (صفائي + مائڪرو ٽيڪسچرنگ)، گريڊ ٿيل ايڊهيشن انٽرليئرز، ۽ گهٽ دٻاءُ واري جمع ڪرڻ جون ترڪيبون ته جيئن حرارتي بي ترتيبي ۽ باقي دٻاءُ کي گهٽ ۾ گهٽ ڪري سگهجي.

4. سائيڪل هلائڻ دوران حرارتي بگاڙ ۽ وارپ

حل: محدود عنصر تي هلندڙ پليٽ جيوميٽري، ڪنٽرول ٿيل سبسٽريٽ کثافت جي چونڊ، ۽ باقي دٻاءُ کي گهٽائڻ لاءِ پوسٽ فيبريڪيشن اينيلنگ. انتهائي فليٽنس گهرجن لاءِ موجود سخت رِب يا بيڪنگ پليٽون.

ايل اي ڊي ايچ پروسيس ۾ عام ايپليڪيشنون

ايل اي ڊي ايچنگ جي عمل ۾، ايس آءِ سي ڪيريئر پليٽ ويفر ۽ ايچنگ ماحول جي وچ ۾ ميڪيڪل، ٿرمل ۽ ڪيميڪل انٽرفيس طور ڪم ڪري ٿي. سيميڪس ليب جي ايس آءِ سي ڪيريئر پليٽ، هڪ گهڻ سي وي ڊي ايس آءِ سي ڪوٽنگ سان هڪ اعليٰ پاڪيزگي واري گريفائيٽ سبسٽريٽ تي ٺهيل آهي، خاص طور تي بار بار پلازما چڪر دوران مستحڪم ويفر گرمي پد ڪنٽرول، ڪيميائي مزاحمت، ۽ پارٽيڪل فري آپريشن کي يقيني بڻائڻ لاءِ انجنيئر ڪئي وئي آهي. هيٺ ايل اي ڊي ايچنگ لائنن اندر ان جي اهم ايپليڪيشن منظرنامي جو هڪ بريڪ ڊائون آهي:

1. ICP/RIE ايچنگ ۾ ويفر سپورٽ ۽ ٿرمل مئنيجمينٽ

ايل اي ڊي ايچنگ سامان جهڙوڪ SAMCO، آڪسفورڊ انسٽرومينٽس، ۽ LAM ICP ايچرز ۾، ويفرز (عام طور تي 2-8 انچ، جن ۾ GaN-on-Sapphire يا GaN-on-Si سبسٽريٽس شامل آهن) SiC ڪيريئر پليٽ تي لڳل هوندا آهن.

ڪيريئر کي مهيا ڪرڻ گهرجي:

● ويفر ۽ اليڪٽرو اسٽيٽڪ چڪ (ESC) يا ميڪيڪل ڪلمپ جي وچ ۾ هڪجهڙائي گرمي جي منتقلي؛

● پلازما جي مسلسل نمائش ۽ ايچ جي کوٽائي جي ڪنٽرول کي يقيني بڻائڻ لاءِ بهترين هموار؛

● اعليٰ حرارتي چالکائي (گريفائيٽ ڪور مان نڪتل) مقامي اوور هيٽنگ ("گرم اسپاٽ") کي ختم ڪرڻ لاءِ جيڪا ايچ جي غير یکسانيت يا خرابي جي ٺهڻ جو سبب بڻجي سگهي ٿي.

سيميڪسليب جي هائبرڊ ڍانچي هڪ مستحڪم گرمي پد پروفائل (±1°C ويفر جي مٿاڇري تي) مهيا ڪري ٿي، جيڪا ايچ جي شرح ۽ چونڊ جي صحيح ڪنٽرول جي اجازت ڏئي ٿي - ايل اي ڊي ميسا جاميٽري ۽ سائڊ وال جي همواريت کي برقرار رکڻ لاءِ اهم.

2. پوئين پاسي حرارتي چالکائي ۽ ويفر تحفظ

ڪيترن ئي ايل اي ڊي ايچ چيمبرن ۾، ويفرز کي منهن هيٺ لڳايو ويندو آهي، ۽ ڪيريئر پليٽ گرمي پد جي هڪجهڙائي برقرار رکڻ لاءِ پوئين پاسي حرارتي وهڪري فراهم ڪري ٿي. حرارتي رابطي ۾ معمولي غير هڪجهڙائي به ٿي سگهي ٿي:

● ايچ جي شرح جي انحراف؛

● فوٽو ريسسٽ ساڙڻ؛

● غير يونيفارم ميسا جي اوچائي - اهي سڀ LED جي پيداوار کي گهٽائين ٿا.

سيميڪس ليب جي آئيني سان تيار ڪيل سي وي ڊي سي سي ڪوٽنگ ويفر سان ويجهڙائي واري رابطي کي يقيني بڻائي ٿي، جڏهن ته گريفائيٽ سبسٽريٽ ترڪيب جي منتقلي دوران حرارتي جھٽڪن کي بفر ڪري ٿو (مثال طور، ايچ ۽ کولنگ مرحلن جي وچ ۾).

هي ميلاپ ويفر جي دٻاءُ کي گھٽ ڪري ٿو ۽ برٽل نيلم يا GaN سبسٽريٽس ۾ مائڪرو ڪرڪس کي روڪي ٿو.

3. مشيني ترتيب ۽ چيمبر مطابقت

SiC ڪيريئر پليٽون ويفر ۽ پروسيس چيمبر هارڊويئر جي وچ ۾ درست ميڪيڪل انٽرفيس طور پڻ ڪم ڪن ٿيون.

گريفائٽ ڪور جي هلڪي وزن ۽ مشيني نوعيت پيچيده جاميٽري کي قابل بڻائي ٿي - جهڙوڪ الائنمينٽ هولز، ريسس، ۽ بيڪ سائڊ چينلز - مختلف ٽول ڪنفيگريشن سان مڪمل انضمام جي اجازت ڏئي ٿي.

سيميڪسليب جي ڊيزائن يقيني بڻائي ٿي:

● گھڻ-ويفر بيچ ايچرز ۽ سنگل-ويفر اوزارن سان طول و عرض مطابقت؛

● روبوٽڪ هٿيارن سان آسان ويفر لوڊنگ/ان لوڊنگ؛

● منتقلي جي چڪر دوران نازڪ GaN ويفرز تي گھٽ مشيني دٻاءُ.